Преимущества ЖК-дисплея TFT, часть первая

Технология TFT была разработана в 1990-х годах. Он использует новые материалы и новые процессы для крупномасштабной технологии производства полупроводниковых интегральных схем. Он используется для жидкокристаллических (LC), неорганических и органических тонкопленочных электролюминесцентных (EL и OEL) плоских дисплеев. База. TFT представляет собой не одинарную пластину, такую как стеклянная или пластиковая подложка (конечно, она также может быть на пластине) посредством процессов напыления и химического осаждения для формирования различных пленок, необходимых для изготовления схем, и крупномасштабных полупроводниковых интегральных схем (LSIC). ) изготавливаются путем обработки пленок. . Использование немонокристаллических подложек может значительно снизить затраты и является расширением традиционных крупномасштабных интегральных схем в сторону больших, многофункциональных и недорогих направлений. Производить TFT, которые управляют переключением пикселей (LC или OLED) на больших стеклянных или пластиковых подложках, технически сложнее, чем производить крупногабаритные ИС на кремниевых пластинах. Требования к производственной среде (степень очистки 100), требования к чистоте сырья (чистота электронного спецгаза 99,999985%), требования к производственному оборудованию и технологии производства превышают масштабную интеграцию полупроводников . Это вершина современного крупного производства. Технологии. Его основные особенности:

(1) Большая площадь: первое поколение стеклянной подложки большой площади (300 мм × 400 мм) ЖК-дисплей TFT Производственная линия была запущена в производство в начале 1990-х годов. К первой половине 2000 года площадь ​​стеклянная подложка была увеличена до 680 мм × 880 мм), а размер стеклянной подложки составил 950 мм × 1200 мм. Стеклянная подложка также будет введена в эксплуатацию. В принципе, ограничений по площади нет.

(2) Высокая степень интеграции: 1,3-дюймовый TFT-чип, используемый для проецирования на жидких кристаллах, имеет разрешение XGA, содержащее миллионы пикселей. 16,1-дюймовая TFT-матрица с разрешением SXGA (1280x1024), толщина пленки аморфного кремния всего 50 нм, технологии TABONGLASS и SYSTEMONGLASS, уровень интеграции ее ИС, требования к оборудованию и технологии питания, а также техническая сложность превышает традиционные. LSI.

(3) Мощные функции: TFT впервые был использован в качестве схемы матричной адресации для улучшения характеристик светового клапана жидких кристаллов. Для дисплеев с высоким разрешением за счет регулировки напряжения в диапазоне 0–6 В (обычно от 0,2 до 4 В) достигается точное управление объектом, что позволяет ЖК-дисплею получать высококачественные дисплеи с высоким разрешением. TFT-LCD — это первый в истории человечества плоский дисплей, который превосходит CRT по качеству отображения. И люди начинают интегрировать драйвер IC на стеклянную подложку, и функция всего TFT будет более мощной, что не имеет себе равных в традиционных крупномасштабных полупроводниковых интегральных схемах.

(4) Низкая стоимость: стеклянные подложки и пластиковые подложки в корне решают проблему стоимости крупномасштабных полупроводниковых интегральных схем и открывают широкие возможности для применения крупномасштабных полупроводниковых интегральных схем.

(5) Гибкий процесс: в дополнение к напылению, CVD (химическому осаждению из паровой фазы), MCVD (молекулярному химическому осаждению из паровой фазы) и другим традиционным процессам формирования пленки также начала применяться технология лазерного отжига, которая может производить аморфные пленки, поликристаллические пленки. , и Монокристаллические пленки могут быть изготовлены. Он может производить не только кремниевую пленку, но и другие тонкие полупроводниковые пленки групп Ⅱ-VI и Ⅲ-V.

(6) область применения широка. ЖК-дисплей основанный на технологии TFT, является основой индустрии информационного общества, и эта технология также может быть применена к быстрорастущему плоскопанельному дисплею с органической электролюминесценцией на тонкопленочных транзисторах (TFT-OLED). Растущий.