Преимущества TFT ЖК-дисплея, часть первая

Технология TFT была разработана в 1990-х годах. Он использует новые материалы и новые процессы для технологии производства крупномасштабных полупроводниковых интегральных схем. Он используется для жидкокристаллических (LC), неорганических и органических тонкопленочных электролюминесцентных (EL и OEL) плоских дисплеев. База. TFT — это неодинарная пластина, такая как стеклянная или пластиковая подложка (конечно, она также может быть на пластине) посредством процессов распыления и химического осаждения для формирования различных пленок, необходимых для производства схем и крупномасштабных полупроводниковых интегральных схем (LSIC). ) производятся путем обработки пленок. . Использование немонокристаллических подложек может значительно снизить затраты и является расширением традиционных крупномасштабных интегральных схем до направлений большой площади, многофункциональных и недорогих. Технически сложнее изготовить TFT, которые контролируют характеристики переключения пикселей (LC или OLED) на стеклянных или пластиковых подложках большой площади, чем производство крупномасштабных ИС на кремниевых пластинах. Требования к производственной среде (степень очистки 100), требования к чистоте сырья (чистота электронного специального газа 99,999985%), а также требования к производственному оборудованию и технологии производства превышают крупномасштабную интеграцию полупроводников. . Это вершина современного крупного производства. Технология. Его основные особенности:

(1) Большая площадь: первое поколение стеклянных подложек большой площади (300×400 мм). ЖК-дисплей TFT Производственная линия была запущена в производство в начале 1990-х годов. К первой половине 2000 года площадь ​​стеклянная подложка была расширена до 680×880 мм), а размер стеклянной подложки составлял 950×1200 мм. Стеклянная подложка также будет введена в эксплуатацию. В принципе, ограничений по площади нет.

(2) Высокая степень интеграции: 1,3-дюймовый TFT-чип, используемый для проекции на жидких кристаллах, имеет разрешение XGA и содержит миллионы пикселей. 16,1-дюймовая TFT-матрица с разрешением SXGA (1280×1024), толщина пленки аморфного кремния всего 50 нм, технологии TABONGLASS и SYSTEMONGLASS, уровень интеграции ее микросхемы, требования к оборудованию и технологии питания, а также техническая сложность превышает традиционные. ЛСИ.

(3) Мощные функции: TFT впервые был использован в качестве схемы матричной адресации для улучшения характеристик светового клапана жидких кристаллов. Для дисплеев с высоким разрешением за счет регулировки напряжения в диапазоне 0–6 В (обычно от 0,2 до 4 В) достигается точный контроль объекта, что позволяет ЖК-дисплею получать высококачественные изображения с высоким разрешением. TFT-LCD — первый в истории человечества плоский дисплей, превосходящий по качеству изображения ЭЛТ. И люди начнут интегрировать микросхему драйвера на стеклянную подложку, и функция всего TFT станет более мощной, что не имеет себе равных в традиционных крупномасштабных полупроводниковых интегральных схемах.

(4) Низкая стоимость: стеклянные и пластиковые подложки фундаментально решают проблему стоимости крупномасштабных полупроводниковых интегральных схем и открывают широкое пространство для применения крупномасштабных полупроводниковых интегральных схем.

(5) Гибкий процесс: в дополнение к распылению, CVD (химическое осаждение из паровой фазы), MCVD (молекулярное химическое осаждение из паровой фазы) и другим традиционным процессам формирования пленок, также начала применяться технология лазерного отжига, которая может производить аморфные пленки, поликристаллические пленки. и могут быть изготовлены монокристаллические пленки. Он может не только изготавливать кремниевую пленку, но также изготавливать другие тонкие полупроводниковые пленки Ⅱ-VI группы и Ⅲ-V группы.

(6) Область применения широка. ЖК-дисплей Основанная на технологии TFT, является основой индустрии информационного общества, и эта технология также может быть применена к быстро растущим плоскопанельным дисплеям с тонкопленочными транзисторами и органической электролюминесценцией (TFT-OLED). Растет.