Метод изготовления стеклянной подложки TFT-LCD, часть вторая

Ниже приводится только описание трех вышеуказанных технологических процессов:

(1) Плавающий метод:

На сегодняшний день это самая известная технология производства листового стекла. Этот метод переносит расплавленную стеклянную пасту в печи в слой жидкого олова. Из-за низкой вязкости толщину стекла можно контролировать с помощью перегородки или тяги. По мере увеличения стеклянной пасты стеклянная паста постепенно затвердевает в плоское стекло, а затем затвердевшая стеклянная пластина выводится направляющим колесом, а затем формируется с помощью процедур последующей обработки, таких как отжиг и резка.

При использовании флоат-метода для производства ультратонкого листового стекла необходимо контролировать низкую скорость подачи стеклянной пасты. Сначала стеклянную ленту (Ribbon), поступающую в слой олова, следует охладить примерно до 700°C. В это время вязкость стеклянной ленты составляет около 108 пуаз (Пуаз; 1 пуаз = 1 г/см·сек), а затем с помощью краевого ролика вытяните стеклянную пасту, плавающую на жидкой банке, и после этого растяните ее. наружу стеклянная лента нагревается до 850 ℃, а внешняя сила прикладывается с помощью тянущего конвейерного ролика.

Технология флоат-процесса использует метод горизонтального вывода, поэтому для удовлетворения требований отжига проще использовать удлиненную горизонтальную производственную линию. Основная причина, по которой флоат-технология не получила широкого распространения при производстве ультратонкого листового стекла толщиной менее 2 мм, заключается в том, что она не может достичь необходимых экономических масштабов. Например, ежедневная производительность флоат-технологии может почти соответствовать ежемесячному потреблению текущего рынка Тайваня; Если для производства ультратонкого листового стекла используется флоат-технология, его обычно производят в резервуарной печи периодического действия (D a yTank). Поэтому очень важно оптимизировать конструкцию щелевой печи.

(2) Метод вытяжки проточного отверстия: что касается специального ультратонкого плоского стекла, необходимого для плоской панели TFT-дисплей Что касается, многие производители используют для производства метод вытяжки проточного отверстия. В этом методе для введения платины используется гомогенная стеклянная паста низкой вязкости. В канавке щелевой втулки, изготовленной из сплава, толщина стекла контролируется силой тяжести и силой тяги, а также размером отверстия формы. Температура и размер отверстия вместе определяют выход стекла, а проточное отверстие. Размер отверстия и скорость вытяжки совместно определяют толщину стекла, а распределение температуры определяет коробление стекла.

Процесс вытяжки отверстия позволяет производить 5–20 метрических тонн ультратонкого плоского стекла толщиной 0,0–3–1,1 мм в день. Поскольку металлическая платина не может выдерживать высокие механические нагрузки, обычно используется большинство форм из платиновых сплавов. Однако отверстие часто деформируется под воздействием внешних сил, что приводит к неравномерной толщине и плоскостности поверхности, что не соответствует спецификациям. Его недостатки.

Метод вытяжки проточного отверстия должен быть отожжен в вертикальном направлении. Если его повернуть в горизонтальное направление, это может увеличить контакт между поверхностью стекла и роликом и привести к короблению, вызванному горизонтальной транспортировкой, что приведет к значительному увеличению количества дефектов. Такие опасения заставляют проектировать печь с высокими потолками, и в то же время необходимо точно учитывать высоту, необходимую для отжига, что значительно увеличивает сложность проекта, а также отражается на стоимости строительства печи. растение.

(3) Метод переливной плавки:

Насос для сварки длинного типа (насос для сварки) используется для транспортировки пасты расплавленного стекла в центр насоса для сварки, а затем с помощью метода перелива перекачивает две переливающиеся стеклянные пасты в центр насоса. Нижняя часть объединена в ультратонкое плоское стекло.

Использование этой технологии формования также требует тяжелой формы, поэтому форма для насоса для расплавленного стекла также сталкивается с проблемами деформации из-за механического напряжения, поддержания уровня насоса для расплавленного стекла и обеспечения стабильной подачи пасты из расплавленного стекла в насос для расплавленного стекла. Потому что толщина и качество поверхности суперплоского стекла, изготовленного методом переливной плавки, определяются количеством стеклянной пасты, подаваемой в плавильный насос, ее стабильностью, ровностью, свойствами поверхности насоса и качеством стекла.

Технология Fusion Overflow позволяет производить ультратонкие стеклянные подложки с двойными оригинальными стеклянными поверхностями. По сравнению с флоат-методом (можно изготовить только одну исходную стеклянную поверхность) и методом вытяжки с проточным отверстием (который не может производить оригинальные стеклянные поверхности), он позволяет избежать процессов постобработки, таких как шлифовка или полировка. При этом в процессе изготовления плоскопанельных дисплеев нет необходимости обращать внимание на различие свойств поверхности стекла из-за исходных и разных стеклянных поверхностей, контактирующих с жидким оловом или шлифовкой. СМИ. И так далее, стало основным направлением формирования ультратонкого плоского стекла.