Способ изготовления стеклянной подложки TFT-LCD, часть вторая

Ниже приводится только описание трех вышеперечисленных технологических процессов следующим образом:

(1) Поплавковый метод:

В настоящее время это самая известная технология производства листового стекла. Этот метод транспортирует пасту из расплавленного стекла из печи в слой жидкого олова. Из-за его низкой вязкости толщину стекла можно контролировать с помощью перегородки или тяги. По мере того как стеклянная паста увеличивается, стеклянная паста постепенно затвердевает в плоское стекло, а затем затвердевшая стеклянная пластина выводится направляющим колесом, а затем формируется с помощью процедур постобработки, таких как отжиг и резка.

При использовании флоат-метода для производства ультратонкого листового стекла необходимо контролировать низкую скорость подачи стекломассы. Во-первых, стеклянная лента (R-лента), поступающая в оловянный слой, должна быть охлаждена примерно до 700°C. В это время вязкость стеклянной ленты составляет около 108 пуаз (пуаз; 1 пуаз u003d 1 г/см·сек), а затем с помощью краевого ролика вытяните стеклянную пасту, плавающую на жидком олове, и после того, как она будет растянута стеклянная лента нагревается до 850 ℃, и внешняя сила прикладывается к конвейерному ролику.

В технологии флоат-процесса используется метод горизонтальной подачи, поэтому для удовлетворения требований к отжигу проще использовать удлиненную горизонтальную производственную линию. Основная причина, по которой технология флоат-процесса не получила широкого распространения при производстве ультратонкого листового стекла толщиной менее 2 мм, заключается в том, что она не позволяет достичь требуемых экономических масштабов. Например, ежедневная производительность флоат-технологии может почти соответствовать ежемесячному потреблению текущего тайваньского рынка; если флоат-технология используется для производства ультратонкого листового стекла, оно обычно производится в печи непрерывного действия (D a yTank). Поэтому очень важно оптимизировать конструкцию щелевой печи.

(2) Метод вытягивания отверстия вниз: поскольку для плоских панелей требуется специальное ультратонкое плоское стекло tft-дисплей Если речь идет о дисплеях, многие производители используют для производства метод вытягивания через проточное отверстие. В этом методе используется маловязкая однородная стеклянная паста для введения платины. В канавку щелевой втулки, выполненной из сплава, толщина стекла контролируется силой тяжести и силой притяжения, а также размером отверстия пресс-формы. Температура и размер отверстия вместе определяют выход стекла, а проточное отверстие. Размер отверстия и скорость вытяжки совместно определяют толщину стекла, а распределение температуры определяет коробление стекла.

Процесс вытягивания отверстия вниз может производить от 5 до 20 метрических тонн ультратонкого листового стекла толщиной от 0,0 до 3 до 1,1 мм в день. Поскольку платиновый металл не может выдерживать высокие механические нагрузки, обычно используются формы, изготовленные из платиновых сплавов. Однако отверстие часто деформируется, когда на него воздействуют внешние силы, что приводит к неравномерной толщине и плоскостности поверхности, что не соответствует техническим требованиям. Его недостатки.

Метод нисходящего потока через отверстие должен быть отожжен в вертикальном направлении. Если он повернут в горизонтальном направлении, это может увеличить контакт между поверхностью стекла и роликом и коробление, вызванное горизонтальной транспортировкой, что приведет к значительному увеличению количества брака. Такие опасения заставляют строительство печи принимать проект с высокими потолками, и в то же время необходимо точно учитывать высоту, необходимую для отжига, что значительно увеличивает сложность проекта, а также отражается на стоимости строительства печи. растение.

(3) Метод переливного плавления:

Плавильный насос длинной формы (Fusion Pump) используется для транспортировки пасты из расплавленного стекла к центру термоядерного насоса, а затем с помощью метода перелива перекачивают две переливающиеся стеклянные пасты в центр насоса. Нижняя часть объединена в ультратонкое плоское стекло.

Использование этой технологии формования также требует тяжелой формы, поэтому форма для насоса для расплава также сталкивается с проблемами деформации из-за механического напряжения, поддержания уровня насоса для расплава и того, как стабильно подавать пасту из расплавленного стекла в насос для расплава. Поскольку толщина и качество стеклянной поверхности суперплоского стекла, изготовленного методом плавки с переливом, определяются количеством стекломассы, подаваемой в плавильный насос, ее стабильностью, ровностью, поверхностными свойствами насоса и качеством. стекла.

Технология Fusion Overflow позволяет производить ультратонкие стеклянные подложки с двойными оригинальными стеклянными поверхностями. По сравнению с флоат-методом (можно получить только одну оригинальную стеклянную поверхность) и методом вытяжки с проточным отверстием (который не может создавать оригинальные стеклянные поверхности), он позволяет избежать процессов постобработки, таких как шлифовка или полировка. В то же время в процессе изготовления плоскопанельных дисплеев нет необходимости обращать внимание на разницу свойств поверхности стекла из-за исходной и различных стеклянных поверхностей, которыев контакте с жидким оловом или мелющими телами. И так далее, стало основным направлением формирования ультратонкого плоского стекла.